簡易檢索 / 檢索結果

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    單晶藍寶石基板之過氧化氫輔助研光製程研究
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 李奕槿 指導教授: 陳炤彰
    • LED在人們日常生活中的影響性是與日俱增,而藍寶石晶圓(Sapphire Wafer)與GaN之晶格相匹配性佳,故在LED中常使用藍寶石晶圓為磊晶鍍膜的承載板,然而由於藍寶石晶圓優異的材料機械性質,…
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